Dentro alta densità degli obiettivi di acciaio inossidabile del diametro 123mm

Obiettivo della metropolitana di acciaio inossidabile 304 di acciaio inossidabile OD150*ID123*1091

Materiali di obiettivo nell'industria a semiconduttore. I materiali a semiconduttore possono essere divisi nei materiali del wafer e nei materiali da imballaggio. I materiali da imballaggio hanno ostacoli tecnici più bassi rispetto ai materiali di costruzione del wafer. Ci sono sette tipi di materiali e di prodotti chimici a semiconduttore in questione nella produzione del wafer, una di cui sta farfugliando i materiali di obiettivo. Il materiale di obiettivo è uno che è bombardato dalle particelle fatte pagare ad alta velocità. Cambiando i materiali di obiettivo differenti (quali alluminio, rame, acciaio inossidabile, il titanio, gli obiettivi del nichel, ecc.), i sistemi differenti del film (quali i film superhard, resistenti all'uso, resistenti alla corrosione della lega, ecc.) possono essere ottenuti.

La purezza è uno degli indici principali della prestazione del materiale di obiettivo, perché la purezza del materiale di obiettivo ha una grande influenza sulla prestazione del film. Ma in pratica, i requisiti della purezza dei materiali di obiettivo sono inoltre differenti. Le impurità in prodotti solidi ed ossigeno e vapore acqueo in pori sono le fonti principali di deposito del film. Per ridurre la porosità del materiale di obiettivo solido e per migliorare la prestazione di farfugliare il film, il materiale di obiettivo è richiesto solitamente per avere un'alta densità. La densità è inoltre uno degli indici della prestazione chiave dei materiali di obiettivo. La densità del materiale di obiettivo colpisce non solo il tasso farfugliare ma le proprietà anche elettriche ed ottiche dei film sottili. Più alta la densità dell'obiettivo, migliore la prestazione filmogena. Inoltre, la densità e la forza del materiale di obiettivo possono essere migliorate facendo il materiale di obiettivo resistono allo stress termico meglio durante farfugliare.